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CV-Messungen an geätzten epitaktisch gewachsenen Schichten

Diplomarbeit

Björn Hoffmann

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Beschreibung

Diplomarbeit aus dem Jahr 1999 im Fachbereich Ingenieurwissenschaften - Maschinenbau, Note: 3, Universität Hamburg, Sprache: Deutsch, Abstract: In der heutigen Zeit werden in immer mehr Geräten Halbleiterbauelemente eingesetzt. Unter der Zielsetzung, möglichst viele Strukturen auf einer Fläche unterzubringen, haben sich Ätztechniken zu einem der wichtigsten Werkzeuge bei der Herstellung von Halbleiter-Mikrostrukturen entwickelt. Jede Weiterentwicklung der Ätztechnik erlaubt die genauere Kontrolle der Ätzrate, der Selektivität, der Flankensteilheit, der immer besseren Reproduzierbarkeit des Ätzvorganges und dergleichen mehr. Jede Ätztechnik schädigt aber auch den zu ätzenden Halbleiterkristall. So ist die Auswahl einer Ätztechnik ein Abwägen der Vorteile und Nachteile. Dabei zeigt sich, dass trotz der mehr als fünfzigjährigen Forschung über Halbleiter bzw. Halbleiterbauelemente auch heute noch neue Erkentnisse in diesem Bereich gewonnen werden. Ebenso müssen die vorhandenen physikalischen Modelle für die neuen Anforderungen und Techniken angepasst oder erweitert werden. Mit der zunehmenden Nutzung der in den siebziger Jahren entwickelten epitaktischen Herstellungsverfahren für Halbleiter, wieder Molekularstrahlepitaxie (MBE) und der Metall-Organischen Gasphasenepitaxie (MOCVD), ist es heute möglich, Halbleiter-Heterostrukturen aus dem Gallium-Arsenid / Aluminium-Gallium-Arsenid-Materialsystem herzustellen. Solche Strukturen finden heute ihren Nutzen in der Herstellung von schnellen Bauteilen, wie sie in der Nachrichten- und Optoelektronik verwendet werden. Diese Diplomarbeit im Rahmen eines BMBF-Projektes am Mikrostrukturzentrum der Universität Hamburg untersucht die durch einen CAIBE-Prozess verursachte Schädigung eines GaAs-Halbleiters. Ziel ist es die Art und Tiefe der Schäden in Abhängigkeit von verschiedenen Parametern des CAIBE-Prozesses zu untersuchen.

Björn Hoffmann, Studium in Lübeck und München, 2001 bis Mitte 2003 AIP und Assistenzarzt am Dr. von Haunerschen Kinderspital der LMU in München, seit Mitte 2003 Assistenzarzt an der Klinik für Allgemeine Pädiatrie der Heinrich-Heine-Universität Düsseldorf, Arbeitsschwerpunkte: Stoffwechselstörungen bei Kindern, Lebensqualität chronisch Kranker

Produktdetails

Einband Taschenbuch
Seitenzahl 92
Erscheinungsdatum 28.07.2012
Sprache Deutsch
ISBN 978-3-86746-313-3
Verlag GRIN
Maße (L/B/H) 21.1/14.6/1.2 cm
Gewicht 146 g
Auflage 2. Auflage

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