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Ozonbasierte Reinigungs- und Konditionierungsverfahren für die Herstellung hocheffizienter Silizium Solarzellen

Dissertationsschrift

Mit einem stetig zunehmenden Anteil hocheffizienter Solarzellkonzepte mit oberflächensensitiven Passivierschichten, ändern sich gleichzeitig die Anforderungen an die Reinheit und Beschaffenheit der Ober- und Grenzfläche zwischen dem Si-Basissubstrat und der Passivierschicht. In dieser Arbeit wurden für die Herstellung hocheffizienter Solarzellen ozonbasierte Reinigungs- und Konditionierungsmethoden entwickelt. Diese sind geeignet im industriellen Massstab Silizium-Wafer von Kontaminationen zu reinigen und die Eigenschaften der Ober- und Grenzfläche, anwendungsspezifisch auf die verwendete Passivierschicht angepasst, vorzubereiten. Der Fokus lag auf der Herstellung und Charakterisierung von ultra-dünnen SiOx-Schichten für das TOPCon Zellkonzept.
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Beschreibung

Produktdetails

Einband Taschenbuch
Herausgeber Freiburg/Brsg. Fraunhofer ISE
Seitenzahl 264
Erscheinungsdatum 18.08.2016
Sprache Deutsch
ISBN 978-3-8396-1038-1
Reihe Solare Energie- und Systemforschung
Verlag Fraunhofer Verlag
Maße (L/B/H) 20.6/14.6/1.6 cm
Gewicht 376 g
Abbildungen zahlreiche, meist farbige Abbildungen und Tabellen
Buch (Taschenbuch)
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