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  • Produktbild: Plasma Processes for Semiconductor Fabrication
  • Produktbild: Plasma Processes for Semiconductor Fabrication

Plasma Processes for Semiconductor Fabrication Engineerin

Fr. 122.00

inkl. gesetzl. MwSt., Versandkostenfrei

Beschreibung

Produktdetails

Einband

Taschenbuch

Erscheinungsdatum

31.05.2005

Herausgeber

Haroon Ahmad + weitere

Verlag

Cambridge Academic

Seitenzahl

232

Maße (L/B/H)

25.4/17.8/1.3 cm

Gewicht

414 g

Sprache

Englisch

ISBN

978-0-521-01800-5

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Einband

Taschenbuch

Erscheinungsdatum

31.05.2005

Herausgeber

Verlag

Cambridge Academic

Seitenzahl

232

Maße (L/B/H)

25.4/17.8/1.3 cm

Gewicht

414 g

Sprache

Englisch

ISBN

978-0-521-01800-5

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  • 1. Introduction; 2. Plasma processes and semiconductors; 3. Plasma electromagnetics and circuit models; 4. Plasma models; 5. Plasma chemistry; 6. Transport at long mean free path; 7. Evolution of the trench; 8. Physical description of the plasma; 9. Going further; 10. Glossary.