MEMS Design and Fabrication
Aus der Reihe
Mechanical and Aerospace Engineering Series
-
- Englisch ausgewählt
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Beschreibung
Produktdetails
Einband
Gebundene Ausgabe
Erscheinungsdatum
29.11.2005
Abbildungen
134 Halftones, black and white 78 Tables, black and white 31 Illustrations, color 411 Illustrations, black and white
Herausgeber
Gad-el-Hak MohamedVerlag
Taylor and FrancisSeitenzahl
664
Maße (L/B/H)
25.4/17.8/3.7 cm
Gewicht
1360 g
Sprache
Englisch
ISBN
978-0-8493-9138-5
Thoroughly revised and updated, the new edition of the best-selling MEMS Handbook is now presented as a three-volume set that offers state-of-the-art coverage of microelectromechanical systems. Through chapters contributed by top experts and pioneers in the field, MEMS: Design and Fabrication presents a comprehensive look at the materials, procedures, tools, and techniques of MEMS fabrication. New chapters in this edition examine the materials and fabrication of polymer microsystems and optical diagnostics for investigating the entrance length in microchannels. Rigorous yet accessible, this volume provides the practical knowledge needed for work in cutting-edge MEMS applications.
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