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Produktbild: EUV Lithography

EUV Lithography

Fr. 189.00

inkl. gesetzl. MwSt., Versandkostenfrei

Beschreibung

Produktdetails

Einband

Gebundene Ausgabe

Erscheinungsdatum

01.12.2008

Verlag

John Wiley & Sons

Seitenzahl

702

Maße (L/B/H)

26/18.3/4.2 cm

Gewicht

1542 g

Auflage

1. Auflage

Sprache

Englisch

ISBN

978-0-470-47155-5

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Produktdetails

Einband

Gebundene Ausgabe

Erscheinungsdatum

01.12.2008

Verlag

John Wiley & Sons

Seitenzahl

702

Maße (L/B/H)

26/18.3/4.2 cm

Gewicht

1542 g

Auflage

1. Auflage

Sprache

Englisch

ISBN

978-0-470-47155-5

Herstelleradresse

Libri GmbH
Europaallee 1
36244 Bad Hersfeld
DE

Email: Libri GmbH

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  • Produktbild: EUV Lithography
  • 1. EUV Lithography: A Historical Perspective / Hiroo Kinoshita and Obert Wood

    2. EUV LLC: An Historical Perspective / Chuck Gwyn and Stefan Wurm

    3. EUV Source Technology / Vivek Bakshi

    4A. Optics and Multilayer Coatings for EUVL Systems / Regina Soufli, Sas¿a Bajt, Russell M. Hudyma and John S. Taylor

    4B. Projection Systems for Extreme Ultraviolet Lithography / Russell M. Hudyma and Regina Soufli

    4C. Specification, Fabrication, Testing, and Mounting of EUVL Optical Substrates / John S. Taylor and Regina Soufli

    4D. Multilayer Coatings for EUVL / Regina Soufli and Sas¿a Bajt

    5. EUV Optical Testing / Kenneth A. Goldberg

    6A. Optics Contamination / Sas¿a Bajt

    6B. Grazing Angle Collector Contamination / Valentino Rigato

    6C. Normal Incidence (Multilayer) Collector Contamination / David N. Ruzic and Shailendra N. Srivastava

    7. EUV Mask and Mask Metrology / Han-Ku Cho and Jinho Ahn

    8. Photoresists for Extreme Ultraviolet Lithography / Robert L. Brainard

    9. High-Resolution EUV Imaging Tools for Resist Exposure and Aerial Image Monitoring / Malcolm Gower

    10. Fundamentals of the EUVL Scanner / Kazuya Ota

    11. EUVL System Patterning Performance / Patrick Naulleau, John E. Bjorkholm, and Manish Chandhok

    12. Lithography Cost of Ownership / Phil Seidel

    Appendix: Example Case Studies of Lithography CoO Calculations