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Band 12

Micromachined Mirrors

Aus der Reihe Microsystems

Fr. 138.00

inkl. gesetzl. MwSt., Versandkostenfrei


Beschreibung

Produktdetails

Einband

Taschenbuch

Erscheinungsdatum

07.12.2010

Verlag

Springer Us

Seitenzahl

139

Maße (L/B/H)

23.5/15.5/0.9 cm

Gewicht

254 g

Auflage

Softcover reprint of hardcover 1st edition 2003

Sprache

Englisch

ISBN

978-1-4419-5325-4

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Einband

Taschenbuch

Erscheinungsdatum

07.12.2010

Verlag

Springer Us

Seitenzahl

139

Maße (L/B/H)

23.5/15.5/0.9 cm

Gewicht

254 g

Auflage

Softcover reprint of hardcover 1st edition 2003

Sprache

Englisch

ISBN

978-1-4419-5325-4

Herstelleradresse

Springer-Verlag GmbH
Tiergartenstr. 17
69121 Heidelberg
DE

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  • List of Figures. Acknowledgements. 1: Introduction. 1. Optical scanners. 2. Microelectromechanical systems (MEMS). 3. MEMS optical scanners. 4. Motivation. 5. Overview and organization. 2: Scanning Mirrors. 1. Mechanical dynamics. 2. Optics. 3. Summary of performance criteria. 3: Surface-Micromachined Mirrors. 1. Mirror design in MUMPS process. 2. Robustness and reliability. 3. Conclusions about surface-micromachined mirrors. 4: Staggered Torsional Electrostatic Combdrive (STEC) Micromirror. 1. STEC micromirrors. 2. Tensile optical surface mirrors. 5: Example Application of Scanning Mirrors. 1. Introduction. 2. Design and fabrication. 3. Video system. 4. Optical system. 5. Results. 6: Conclusions. 1. Scaling laws. 2. Fabrication technologies. 3. Future work. A: STEC Fabrication Process Flow. B: TOS Fabrication Process Flow. References.