Band 19
Entwicklung eines maskenlosen Fotolithographiesystems zum Einsatz im Rapid Prototyping in der Mikrofluidik und zur gezielten Oberflächenfunktionalisie Dissertationsschrift
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- Deutsch ausgewählt
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Beschreibung
Produktdetails
Einband
Taschenbuch
Erscheinungsdatum
28.11.2013
Verlag
KIT Scientific PublishingSeitenzahl
163
Maße (L/B/H)
21/14.8/1.1 cm
Gewicht
247 g
Sprache
Deutsch
ISBN
978-3-7315-0119-0
In dieser Arbeit wurde eine auf einem Mikrospiegelarray basierende, maskenlose Lithographieanlage entwickelt und aufgebaut, mit welcher Einzelbilder nahtlos nebeneinander projiziert werden. Es wurden über Abformprozesse und direktlithographisch aus verschiedenen Polymeren cm² grosse Mikrofluidikchips mit 50 µm Kanälen in wenigen Stunden hergestellt. Zudem wurden biochemische Ligandenmuster in 256 verschiedenen Dichtegraden in wenigen Sekunden auf 5 mm² Fläche mit wenige µm grossen Pixeln erzeugt.
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