Sputter Deposited ZnO Thin Films for Gas Sensing Application
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Beschreibung
Produktdetails
Einband
Taschenbuch
Erscheinungsdatum
04.05.2015
Verlag
LAP LAMBERT Academic PublishingSeitenzahl
156
Maße (L/B/H)
22/15/1 cm
Gewicht
225 g
Sprache
Englisch
ISBN
978-3-659-70544-1
In this book we have discussed the preparation and characterization of pure ZnO thin films using RF magnetron sputtering technique.The deposition parameters such as substrate temperature and film thickness are optimized for producing good quality films.Systematic characterization of as deposited and annealed films has been discussed from the crystal structure,surface morphology,film composition,optical and electrical properties.The films prepared under optimized conditions are tested for gas sensing characteristics towards ammonia gas.
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