Diffusion Phenomena in the Chemically Amplified CARL® Resist System
Aus der Reihe
Physikalische Chemie
-
- Deutsch ausgewählt
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inkl. gesetzl. MwSt.,
Beschreibung
Produktdetails
Einband
Taschenbuch
Erscheinungsdatum
13.07.2022
Abbildungen
72 schwarzweisse Abbildungen, 2 Tabellen
Verlag
Utzverlag GmbHSeitenzahl
88
Maße (L/B/H)
0.6/14.5/20.5 cm
Gewicht
140 g
Auflage
2. unveränderte Auflage (Erstauflage 2000)
Sprache
Deutsch
ISBN
978-3-8316-8635-3
Diffusion Phenomena in the Chemically Amplified CARL® Resist System
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