Materials and Processes for Submicron Technologies
Aus der Reihe
European Materials Research Society Symposia Proceedings
-
- Englisch ausgewählt
Fr. 156.00
inkl. gesetzl. MwSt.,
Beschreibung
Produktdetails
Einband
Gebundene Ausgabe
Erscheinungsdatum
03.11.1999
Abbildungen
Illustrations
Herausgeber
J.M. Martinez-Duart + weitereVerlag
Elsevier Science & TechnologySeitenzahl
180
Maße (B/H)
20.9/27.9 cm
Gewicht
570 g
Sprache
Englisch
ISBN
978-0-08-043617-3
The European Materials Society decided to hold a Symposium entitled Materials and Processes for Submicron Technologies in June 16-19, 1998, within the yearly E-MRS Spring Meeting in Strasbourg, France. The purpose of this meeting was to discuss the results of the advances in microelectronic devices directly relating to the reduction in size of features of the devices down to submicron size. When electronic materials are patterned to these small sizes, their physico-chemical properties show many aspects (interdiffusion, electromigration, etc.), many of these not well known yet. The articles presented in this volume, 28 in number, are representative of the 40 papers accepted for this particular E-MRS Meeting (Symposium N).
Noch keine Bewertungen vorhanden
Verfassen Sie die erste Bewertung zu diesem Artikel
Helfen Sie anderen Kundinnen und Kunden durch Ihre Meinung.