Band 56
Hochrate-Abscheidung von piezoelektrischen Aluminiumnitrid-Dünnschichten mittels reaktiven Magnetron-Sputterns
Aus der Reihe
Dresdner Beiträge zur Sensorik; Bd. 56
-
- Deutsch ausgewählt
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Beschreibung
Produktdetails
Einband
Taschenbuch
Erscheinungsdatum
02.07.2015
Abbildungen
2 Farbabb.
Verlag
TUDpressSeitenzahl
124
Maße (L/B/H)
22.5/15.8/0.9 cm
Gewicht
218 g
Auflage
1. Auflage
Sprache
Deutsch
ISBN
978-3-95908-013-2
Der vorliegende Band der "Dresdener Beiträge zur Sensorik" untersucht das reaktive Magnetron-Sputtern zur Abscheidung piezoelektrischer Dünnschichten auf der Basis von Aluminiumnitrid (AlN). Solche piezoelektrischen Dünnschichten lassen sich vorteilhaft für Sensoren und Aktoren verwenden. Der Abscheideprozess ermöglicht die homogene Herstellung auf einer grossen Fläche von bis zu 200 mm Durchmesser bei gleichzeitig hoher Abscheiderate und Homogenität. Die Kenntnis der Haupteinflussgrössen des Prozesses auf die Schichteigenschaften ermöglicht die wirtschaftliche Abscheidung von AlN-Schichten mit Dicken von bis zu mehreren 10 Mikrometern. Durch die Dotierung der Schichten mit Scandium lassen sich die piezoelektrischen Eigenschaften weiter verbessern, so dass sich völlig neue Anwendungsgebiete eröffnen.
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