Plasma Electronics Applications in Microelectronic Device Fabrication
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Produktdetails
Format
Kopierschutz
Ja
Family Sharing
Nein
Text-to-Speech
Nein
Erscheinungsdatum
27.08.2014
Verlag
Taylor & Francis eBooksSeitenzahl
412 (Printausgabe)
Dateigröße
10609 KB
Auflage
2. Auflage
Sprache
Englisch
EAN
9781482222104
Beyond enabling new capabilities, plasma-based techniques, characterized by quantum radicals of feed gases, hold the potential to enhance and improve many processes and applications. Following in the tradition of its popular predecessor, Plasma Electronics, Second Edition: Applications in Microelectronic Device Fabrication explains the fundamental
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