Jelektricheskie i mehanicheskie swojstwa mezoporistyh kremnezemistyh tonkih plenok
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Beschreibung
Produktdetails
Einband
Taschenbuch
Erscheinungsdatum
17.09.2021
Verlag
Sciencia ScriptsSeitenzahl
120
Maße (L/B/H)
22/15/0.8 cm
Gewicht
197 g
Sprache
Russisch
ISBN
978-620-3-40226-1
Tonkie plenki mezoporistogo dioxida kremniq (MPS) priwlekatel'ny dlq primeneniq w kachestwe mezhslojnogo diälektrika (ILD) s nizkim urownem¿ w integral'nyh shemah. Odnako äti plenki wospriimchiwy k nestabil'nomu älektricheskomu powedeniü iz-za pogloscheniq wody i diffuzii medi. V dannoj rabote obsuzhdaütsq älektricheskaq, himicheskaq i termicheskaq nestabil'nost', diffuziq medi i adgeziq ätih materialow dlq ocenki i wozmozhnosti ih ispol'zowaniq w kachestwe buduschih mezhslojnyh diälektrikow w prowodke ustrojstw. Termicheskaq stabil'nost' funkcional'nyh grupp i adgeziq ätih plenok s medi takzhe qwlqütsq klüchewymi woprosami dlq integracii ätih diälektrikow w real'nye ustrojstwa. My postaraemsq otwetit' na äti woprosy dlq neskol'kih tipow funkcional'nyh MPS plenok. Struktura por qwlqetsq esche odnim klüchewym parametrom pri opredelenii mehanicheskih i älektricheskih harakteristik MPS plenok. V ätoj rabote my ispol'zowali MPS plenki s porami 3D-Cubic dlq bol'shinstwa issledowanij. Razlichiq w swojstwah MPS plenok s porami, orientirowannymi parallel'no podlozhke (2D-gexagonal'nye), i MPS plenok s porami kubicheskoj mody (3D-kubicheskie) obsuzhdaütsq w konce raboty. Podwodq itog, äta rabota pokazywaet sposoby adaptacii älektricheskih i mehanicheskih swojstw diälektrikow MPS low¿ dlq buduschih primenenij.
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