Materials Science Applications of Ion Beam Techniques
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inkl. gesetzl. MwSt.Beschreibung
Produktdetails
Format
Kopierschutz
Nein
Family Sharing
Nein
Text-to-Speech
Nein
Erscheinungsdatum
29.05.1997
Herausgeber
A. G. Balogh + weitereVerlag
Trans Tech PublicationsSeitenzahl
512 (Printausgabe)
Dateigröße
29238 KB
Sprache
Englisch
EAN
9783035705201
The first particle accelerators were built in the early 1930's. For a long time, these devices were used exclusively by nuclear physicists. In the 1960's, extensive developments in measuring techniques occurred, mainly as a result of newly developed semiconductor devices. Further strong interest arose from the semiconductor industry, and ion implantation became widely accepted as being the ultimate tool for Si-based device fabrication.
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