Dielectric Films for Advanced Microelectronics
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inkl. gesetzl. MwSt.Beschreibung
Produktdetails
Format
Kopierschutz
Ja
Family Sharing
Nein
Text-to-Speech
Nein
Erscheinungsdatum
04.04.2007
Herausgeber
Mikhail Baklanov + weitereVerlag
WileySeitenzahl
508 (Printausgabe)
Dateigröße
10924 KB
Auflage
1. Auflage
Sprache
Englisch
EAN
9780470065419
This book presents an in-depth overview of the novel developments made by the scientific leaders in the area of modern dielectric films for advanced microelectronic applications. It contains clear, concise explanations of material science of dielectric films and their problem for device operation, including high-k, low-k, medium-k dielectric films and also specific features and requirements for dielectric films used in the packaging technology. A broad range of related topics are covered, from physical principles to design, fabrication, characterization, and applications of novel dielectric films.
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